温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种离子输出量监控设备、离子注入设备、离子输出量监测方法及电子设备，在等离子发生装置与电子束监测装置之间设置磁力发生装置，磁力发生装置所产生的磁感线方向与负电子的运动方向垂直，用于将未与电子束反应的负电子进行偏转，以使得未与电子...
该专利属于杭州富芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州富芯半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。