温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种光学曝光系统，包括光源输出装置、照明装置和调制投射装置，光源输出装置连接照明装置，照明装置连接调制投射装置，光源输出装置用于产生两种以上波长的光源并传输至照明装置，照明装置对接收到的两种以上波长的光源进行整合处理得到组合光，并...
该专利属于杭州新诺微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州新诺微电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。