下载磨削装置的技术资料

文档序号:37247969

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本发明提供磨削装置,即使在磨削前的被加工物的厚度超过上表面测量器的测量范围的情况下,也能够一边测量卡盘工作台所保持的被加工物的上表面高度一边磨削该被加工物。在该该磨削装置中,从使用Z轴编码器获取的磨削机构的下降量|(Z0
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