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形成金属板图形以及电路板的方法技术
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文档序号:3724766
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公开了一种通过利用金属掩模的多阶段蚀刻形成高纵横比金属板图形和电路板的方法。在铜板(10)的一个或两个表面上涂覆抗蚀剂(12),并构图所述抗蚀剂以形成抗蚀剂图形。使用该抗蚀剂图形形成锡镀敷层(14),并利用该锡镀敷层作为掩模,选择性半蚀刻所...
该专利属于新光电气工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过新光电气工业株式会社授权不得商用。
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