温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

提供一种能够不使处理量下降而抑制依存于时间的图案描绘位置偏差的带电粒子束描绘方法及带电粒子束描绘装置。在本实施方式的带电粒子束描绘方法中，一边将带电粒子束描绘装置的描绘室和输送基板的输送机构分别维持在规定的温度，一边用上述输送机构将基板向上...
该专利属于纽富来科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过纽富来科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。