下载包括含碳接触件栅栏的半导体装置的技术资料

文档序号:37237024

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一种半导体装置,包括;有源区,其由衬底上的隔离膜限定;字线,其位于衬底中,该字线在第一方向上延伸并且与有源区交叉;位线,其位于字线上方并且在第二方向上延伸;接触件,其位于在第一方向上相邻的位线之间,该接触件连接有源区并在竖直方向上延伸;以及...
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