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提供了制造半导体结构的方法。在实施例中,一种制造半导体结构的方法,包括:形成半导体区域,该半导体区域具有第一掺杂浓度的第一导电类型的第一掺杂剂;在半导体区域的上方形成电介质层;形成穿过电介质层的开口,该开口暴露半导体区域;在形成开口之后,在...该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。
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提供了制造半导体结构的方法。在实施例中,一种制造半导体结构的方法,包括:形成半导体区域,该半导体区域具有第一掺杂浓度的第一导电类型的第一掺杂剂;在半导体区域的上方形成电介质层;形成穿过电介质层的开口,该开口暴露半导体区域;在形成开口之后,在...