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本发明公开了一种外延层的薄膜质量检测方法，包含以下步骤：S1，提供一处理腔室及衬底；S2，进行外延工艺，在所述衬底上沉积至少两层被测外延层，所述被测外延层包括掺杂剂，不同所述被测外延层之间含有的掺杂剂浓度不同；S3，结束外延工艺，通过测量装...
该专利属于江苏天芯微半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏天芯微半导体设备有限公司授权不得商用。

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