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本实用新型公开了一种用于制备氮化镓晶体的管体装置，涉及半导体制备器件领域，包括反应腔体和收集冷井，反应腔体的上端设有进气口，所述收集冷井连接于反应腔体下端；所述收集冷井的侧部通过管道连通设有若干个真空泵，所述反应腔体的内部设有相互连通的上腔...
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