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本实用新型属于半导体制造技术领域，提出一种晶圆检测设备，包括：动力装置，其布置在晶圆的周围，其中所述动力装置是可旋转的；夹持装置，其与所述动力装置连接，其中所述夹持装置被配置为夹持固定所述晶圆的边缘以使所述动力装置在旋转时带动所述晶圆旋转；...
该专利属于上海优睿谱半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海优睿谱半导体设备有限公司授权不得商用。

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