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本实用新型提供一种单片式外延炉，涉及外延炉技术领域，包括外壳，所述外壳的上表面设置有升降组件，所述外壳的下表面设置有夹持组件；所述夹持组件包括矩形块，所述矩形块的下表面开设有安装槽，所述安装槽的内表面之间转动连接有双向丝杆，所述双向丝杆的右...
该专利属于江苏艾匹克半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏艾匹克半导体设备有限公司授权不得商用。

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