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本发明实施例公开了一种光学对位方法，应用于光学对位系统中，光学对位方法用于将对置的两个晶片进行对准，包括：首先移动光学对位系统，直至两个晶片分别置于第一通道和第二通道的出光光路上；之后利用第一通道和第二通道以及第一成像光路，将对置的两个晶片...
该专利属于天津中科晶禾电子科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津中科晶禾电子科技有限责任公司授权不得商用。

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