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在用于表征光学元件的光学表面的表面形状的方法中,联合评估不同测量系列的第一测量值和第二测量值,其中迭代实行以下步骤:(A)计算第一图形;(B)从第一测量值中减去第一图形,以便确定第一测试设置误差;(C)使用第一测试设置误差来计算经校正的第一...该专利属于卡尔蔡司SMT有限责任公司所有,仅供学习研究参考,未经过卡尔蔡司SMT有限责任公司授权不得商用。
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在用于表征光学元件的光学表面的表面形状的方法中,联合评估不同测量系列的第一测量值和第二测量值,其中迭代实行以下步骤:(A)计算第一图形;(B)从第一测量值中减去第一图形,以便确定第一测试设置误差;(C)使用第一测试设置误差来计算经校正的第一...