下载包括二极管结构的集成电路器件及其形成方法的技术资料

文档序号:37200892

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提供了包括二极管结构的集成电路器件及其形成方法。二极管结构可以包括:衬底;上半导体层,在垂直方向上与衬底间隔开;上薄半导体层,从上半导体层的侧表面在第一水平方向上突出;下半导体层,在衬底和上半导体层之间并具有第一导电类型;下薄半导体层,从下...
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