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一种高效高质量低损伤液膜剪切抛光新方法技术
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文档序号:37200643
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本发明公开了一种高效高质量低损伤液膜剪切抛光新方法,包括如下步骤:1)以非牛顿流体作为基液配制抛光液,将磨粒分散在非牛顿流体中,并加入活性剂;2)将工件安装于夹具上,工件位置与抛光盘上设计好的位置相对应;3)在抛光盘平行区域与工件表面之间设...
该专利属于浙江工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江工业大学授权不得商用。
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