下载用于在塑料基材上进行沉积的装置和方法的技术资料

文档序号:3720027

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及用于在塑料基材上沉积至少一个金属层的方法和薄膜沉积机,所述塑料基材具体为用于柔性印刷电路板的塑料薄片,其中在将第一层沉积在待沉积的所述塑料基材表面之前,对该表面进行非沉积预处理。本发明的目的是提供上述方法,从而改善塑料基材上的金属...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。