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本发明涉及一种中性粒子束处理设备。更具体地，本发明涉及一种中性粒子束处理设备，包括：等离子体放电空间，在其内部，通过等离子体放电将处理气体转换为等离子体离子；重金属板，通过碰撞将等离子体离子转换为中性粒子；等离子体限制器，防止等离子体离子和...
该专利属于韩国基础科学支援研究院;希姆科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过韩国基础科学支援研究院;希姆科技有限公司授权不得商用。

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