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本公开提供一种抛光组件及抛光设备，抛光组件包括抛光垫、分液部和清洗液供给部，抛光垫包括第一表面，第一表面上设置有至少一个沟槽，沟槽由抛光垫的中心区域延伸至抛光垫的边沿；分液部设置于中心区域，分液部构造有清洗液容腔，清洗液容腔与至少部分沟槽连...
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