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本发明提供一种升降销难以损伤载置台本体的基板载置台。基板载置台具备：载置台本体和升降销（３０），其中，该升降销（３０）铅直插通上述载置台本体，以相对于上述载置台本体的表面突出、隐没的方式自由升降地设置，其前端支撑基板并使上述基板升降，升降销...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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