基板载置台以及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种升降销难以损伤载置台本体的基板载置台。基板载置台具备：载置台本体和升降销（３０），其中，该升降销（３０）铅直插通上述载置台本体，以相对于上述载置台本体的表面突出、隐没的方式自由升降地设置，其前端支撑基板并使上述基板升降，升降销（３０）具有上部件（３０ｂ）和下部件（３０ａ），具有在它们的边界部（３８）的周围设置辅助部件（３９）而构成的折断部（３５），当升降销（３０）位于支撑位置时，折断部（３５）位于载置台本体（４ａ）的表面位置或者与此相比上方位置，形成折断部（３５），使得当向升降销（３０）施加横向力时，该折断部（３５）在比升降销（３０）变形的力小的力的作用下折断。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在对液晶显示装置(LCD)等平板显示器(FPD)制造 用的玻璃基板和半导体晶片等基板进行干蚀刻等处理的基板处理装置 中，在处理容器内载置基板的基板载置台以及使用该基板载置台的基 板处理装置。
技术介绍
例如，在FPD和半导体的制造工艺中，对作为被处理基板的玻璃 基板和半导体晶片进行干蚀刻、溅射、CVD (化学气相沉积)等各种 处理。例如，在将基板载置到设置于腔室内的基板载置台上的状态下进 行这种处理，通过使基板载置台所具备的多个升降销升降来进行相对 于基板载置台的基板的装载和卸载。即，在装载基板时，使升降销处 于从载置台本体的表面突出的状态，将载置在搬送臂上的基板转移到 升降销上，使升降销下降。另外，在卸载基板时，从在载置台本体上 载置基板的状态开始，使升降销上升，使基板从载置台本体表面上升， 在该状态下，将基板转移到搬送臂上。这种技术为常用技术，例如在 专利文献1中公开了这种技术。但是，以LCD为代表的FPD用的玻璃基板需要变为大型装置，要 求一边超过2m的巨大型装置，基板载置台也变得非常大。另外，为了 支撑大型基板，也需要多个升降销。因此，基板载置台本身的价格变 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板载置台，其在基板处理装置中载置基板，其特征在于，包括：　载置台本体；和　升降销，所述升降销铅直插通所述载置台本体，以相对于所述载置台本体的表面突出、隐没的方式自由升降地设置，其前端支撑基板并使所述基板升降，其中，　所述升降销具有上部件和下部件，具有在它们的边界部的周围设置辅助部件而构成的折断部，能够取得隐没到所述载置台本体内的退避位置、和从所述载置台本体突出并支撑基板的支撑位置，　当所述升降销位于所述支撑位置时，所述折断部位于所述载置台本体的表面位置或者与此相比的上方位置，形成所述折断部，使得当向所述升降销施加横向力时，所述折断部在比所述升降销变形的力小的力的作用下折断。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：潮田穣一，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]