温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

一种等离子腐蚀反应器，包括： 反应室； 第一电极； 第二电极； 所说第一电极是一个电浮置或接地的电极； 与所说第二电极相连的第一电源，其产生第一频率的功率；及 与所说第二电极相连的第二电源，其产生第二频率...
该专利属于泰格尔公司所有，仅供学习研究参考，未经过泰格尔公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。