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一种等离子体装置，具有：带有开口部分的容器（１１），由此容器的开口部分的外周的端面所支撑的、并堵塞开口部分的电介质部件（１３），通过此电介质部件（１３）向容器（１１）内部供给电磁场的电磁场供给装置，以及覆盖电介质部件（１３）的外周、屏蔽电磁...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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