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辐射源、光刻设备和器件制造方法技术
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下载辐射源、光刻设备和器件制造方法的技术资料
文档序号:3718322
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一种包括阳极和阴极的辐射源,所述阳极和阴极被配置和排列为在所述阳极和阴极之间的物质中产生放电形成等离子体从而产生电磁辐射,其特征在于,限定所述放电空间的壁的芯捻表面区域具有将与所述芯捻表面区域相接触的液体从液体容器向所述放电空间传输的芯捻功...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。
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