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一种感应耦合等离子体（ＩＣＰ）发生设备，包括：　　　　抽真空的反应室；　　　　天线，该天线安装在反应室的上部，以感应用于离子化供给到反应室内的反应气体并产生等离子体的电场；以及　　　　射频（ＲＦ）电源，其连接到天线上以便将射频功率施加到天线...
该专利属于三星电子株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星电子株式会社授权不得商用。

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