温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种不受容器内压力影响，可检测容器内微粒情况的等离子体处理室（１０），其包括：腔室（１１）、气体导入喷淋头（３４）、向处理空间Ｓ施加高频电力的基座（１２）、将腔室内的气体排出的排气装置、微粒计数器（４５）、以及将腔室分隔成反应室（...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。