下载用于检测电弧的方法和设备的技术资料

文档序号:3717930

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本发明设计用于在等离子工艺中检测电弧的一种方法和电弧检测装置(1),包括至少一个比较器(ADC),为所述比较器提供AC发生器的输出信号或者与所述输出信号有关的内部信号作为评估信号,还为所述比较器提供参考值(R1到R4),其中,比较器(3到6...
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