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本发明涉及一种等离子体处理装置，更具体地，涉及一种能够提供压缩气体同时防止堆积在室的底部上的颗粒飞起的等离子体处理装置。本发明的等离子处理体装置包括：室；进气／排气部，设置在室的底部以便向室供以压缩气体，所述进气／排气部被构造成使其内径向上...
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