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从微波发生装置（３９）经由匹配电路（３８）将脉冲状的微波导入波导管（３７），经由内导体（４１）供给到平面天线部件（３１），从平面天线部件（３１）经由微波透过板（２８）放射到腔室（１）中的晶片（Ｗ）的上方空间。利用从平面天线部件（３１）经由微...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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