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本发明提供了使用多个辐射源的等离子体辅助方法和装置。在一个实 施例中，在惰性或活性等离子体催化剂存在的情况下，通过使处理腔中的 气体受到频率低于约333GHz的电磁辐射来激发等离子体。使用控制器来 延迟一个辐射源相对于另一个辐射源的激活。...
该专利属于BTU国际公司所有，仅供学习研究参考，未经过BTU国际公司授权不得商用。

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