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一种微流靶激光等离子体软Ｘ射线－极紫外光源，属于软Ｘ射线－极紫外光学技术领域中涉及的一种激光等离子体光源。要解决的技术问题是：提供一种微流靶激光等离子体软Ｘ射线－极紫外光源，解决技术问题的技术方案包括窗口、激光束、聚光透镜、真空靶室、金属制...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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