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本发明公开了一种反应腔室内衬及包含该内衬的反应腔室，包括侧面内衬、底面内衬，侧面内衬分里层内衬和外层内衬两层，其间形成封闭空间；里层内衬开有多个气孔，外层内衬开有内衬进气开口和内衬排气开口，分别与反应腔室的进气口和排气口相对应，工艺气体首先...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。