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本发明涉及一种具备复合天线线圈组的等离子体反应装置。这种等离子体反应装置包括：反应室，其上部设置有圆柱状介电窗，且通过等离子体反应来处理晶片；复合天线线圈组，其设置于所述介电窗的外部及上部，用于产生射频磁场（ＲＦ　　ｍａｇｎｅｔｉｃ　　ｆｉ...
该专利属于显示器生产服务株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过显示器生产服务株式会社授权不得商用。

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