下载制造平板显示器的系统的技术资料

文档序号:3717601

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在此公开了一种平板显示器(FPD)的制造系统,其包括一个或多个沿成行路线连续地移动衬底的衬底传送线、以及多个彼此叠置以用于载入和卸下完成处理后的衬底的载荷锁定腔,从而对可衬底进行有效的处理。...
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