【技术实现步骤摘要】
i本专利技术涉及一种用于制造平板显示器(FPD)的设备，更具体地， 涉及一种群集式的FPD制造设备，其包括多个彼此叠置的载荷锁定腔 (load lock chamber),可用于一成行(in-line)的FPD制造系统。
技术介绍
2参照图1，其示出了一个主要使用的平板显示器(FPD)制造设备 的示例，通常地，各FPD制造设备10a和10b都包括有顺次连接的一载 荷锁定腔20、 一供给腔22、以及多个加工腔24。3载荷锁定腔20连接到一外部站台，并用于将一个从外部站台传送过 来的衬底载入到对该衬底进行加工的FPD制造设备、或者将在FPD制造 设备中得以完全加工的衬底卸下到外部。4当在一真空状态和大气压状态之间重复地变换时，载荷锁定腔20 的内部与外部连通。载荷锁定腔20内设置有一支撑模具(未示)，用于 把衬底支撑在其上。支撑模具设计成在其上支撑一个或多个的衬底(未示)。5载荷锁定腔20内还设置一抽吸装置(未示)以及通气装置(未示)， 用于将载荷锁定腔20的内部在真空状态和大气压状态之间变换。6供给腔22连接到载荷锁定腔20、并连接到多个加工腔24。供给腔 22内...
【技术保护点】
一种平板显示器的制造系统，包括：一个具有开口上端的下腔；以及设置在所述下腔的所述开口上端上并且打开／关闭所述下腔的所述开口上端的上电极。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：李荣钟，崔浚泳，韩明宇，金允基，权孝重，曺生贤，金银石，崔银烈，
申请(专利权)人：爱德牌工程有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]
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