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一种光源装置，其特征在于，包括：　包含等离子体形成区域，在所述等离子体形成区域中，通过无电极放电形成等离子体而产生发光的等离子体形成室；和　划分在所述等离子体形成室中的等离子体形成区域的下端，透过所述发光的光学窗，　在所述等离子体形成室内，...
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