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本发明提供了用电旁路元件减小电歪斜的等离子体反应器。通过设置旁路电流路径来将ＲＦ接地返回电流从反应器室的非对称特征绕开。一种旁路电流路径避开了室底板中的泵送端口，并包括从侧壁向接地的基座基部延伸的导电对称格栅。另一种旁路电流路径避开了晶片狭...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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