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本发明公开了一种电感耦合等离子体装置，包括机体、反应室，反应室上方设有电感耦合线圈，电感耦合线圈与机体之间通过连接装置连接，连接装置包括水平轴，电感耦合线圈可绕水平轴旋转，使电感耦合线圈可以相对于反应室倾斜一定的角度，可以补偿由于抽气方式等...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。