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本发明提供等离子体处理装置、天线和等离子体处理装置的使用方法。等离子体处理装置（１０）包括：处理容器（１００）；输出微波的微波源（９００）；传送微波的同轴管的内部导体（３１５ａ）；具有贯通孔（３０５ａ），使内部导体（３１５ａ）传送的微波透过...该专利属于东京毅力科创株式会社;国立大学法人东北大学所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社;国立大学法人东北大学授权不得商用。