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本发明公开了一种实现射频阻抗匹配的方法及射频阻抗匹配系统，将匹配网络的输入导纳与射频源的输出导纳进行比较，并根据比较的结果对所述匹配网络的输入阻抗进行调整，实现阻抗匹配控制。阻抗检测器检测匹配网络的输入导纳，控制器采用导纳实部和虚部误差来控...该专利属于清华大学;北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学;北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。