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本实用新型公开了一种晶圆加工用堆放机构，包括外框架，所述外框架内安装有若干支撑机构，所述支撑机构包括有限位板，所述限位板的两端部之间热熔连接有第一支撑板，所述限位板的尾端热熔连接有第二支撑板；所述外框架的前端设有锁定机构，所述锁定机构包括有...
该专利属于江苏宿芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏宿芯半导体有限公司授权不得商用。

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