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本公开提供了一种冷水机系统及半导体加工设备，该冷水机系统包括：冷水机、待冷却单元和冷却液回收单元，所述冷水机的出液端与所述待冷却单元的进液端之间通过进液管路连通，所述待冷却单元的出液端连通有并联设置的第一支路和第二支路，所述第一支路与所述冷...
该专利属于杭州富芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州富芯半导体有限公司授权不得商用。

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