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半导体器件、电子设备及制备方法技术
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文档序号:37157612
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本公开公开了一种半导体器件、电子设备及制备方法,通过在半导体衬底上先形成字线沟槽,之后在字线沟槽中形成字线结构,之后再形成有源区。这样可以使字线沟槽穿过半导体衬底,而不需要使字线沟槽穿过其他材料。由于半导体衬底的材料均一,从而不存在刻蚀选择...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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