下载半导体器件、电子设备及制备方法的技术资料

文档序号:37157612

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本公开公开了一种半导体器件、电子设备及制备方法,通过在半导体衬底上先形成字线沟槽,之后在字线沟槽中形成字线结构,之后再形成有源区。这样可以使字线沟槽穿过半导体衬底,而不需要使字线沟槽穿过其他材料。由于半导体衬底的材料均一,从而不存在刻蚀选择...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。