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下载固定环的技术资料

文档序号:37151511

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本公开内容提供一种用于半导体基板抛光的固定环。固定环包括构造为接触抛光垫的底面和构造为附接到承载头的顶面。顶面包括多个螺孔和多个对准槽。顶面也包含第一插入件,第一插入件设置在多个对准槽中的第一对准槽中,第一插入件与顶面齐平或低于顶面,且其中...
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