温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种衬底处理装置。涂布装置包含载台装置及喷嘴装置。在载台装置中，将衬底保持在板部件上。喷嘴装置具有狭缝状的喷出口，设置在载台装置的上方。以对衬底的整个上表面供给涂布液的方式，一边从喷嘴装置的喷出口喷出涂布液一边使喷嘴装置在载台装置...
该专利属于株式会社斯库林集团所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社斯库林集团授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。