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本发明涉及光刻胶技术领域，具体而言，涉及一种光刻胶、光刻胶组合产品及光刻胶图案化的方法。光刻胶，包括有机溶剂、光致酸产生剂及氧化锆纳米颗粒成膜树脂，将丙醇锆与不饱和有机羧酸混合加热制备所述氧化锆纳米颗粒成膜树脂。光致酸产生剂能够引发氧化锆纳...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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