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本申请实施例提供一种感光分子和包含该感光分子的光产酸剂和感光树脂组合物，其分子结构包括含萘环的主结构、与主结构中萘环连接的杂环基X，与杂环基连接的R2；R2选自卤素、芳基、芳烷基、烷芳基、卤代芳基、烷氧基芳基、环氧烷基、环氧芳基、羟基烷基、...
该专利属于大连理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过大连理工大学授权不得商用。

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