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本发明公开一种半导体加工设备的调压装置和半导体加工设备，涉及半导体加工设备技术领域。该调压装置包括调节板和驱动组件。半导体加工设备包括工艺腔室和排气口，排气口设置于工艺腔室上。调节板可移动地设置于工艺腔室中，用于遮挡排气口；驱动组件与调节板...
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