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本发明属于极紫外光光学元件技术领域，具体涉及一种多层膜材料、极紫外光反射镜及其制备方法和应用。本发明提供的多层膜材料，包括层叠的第一周期单元或第二周期单元，所述第一周期单元包括依次层叠的Nb层、Y层和Si层，所述第二周期单元包括依次层叠的N...
该专利属于苏州宏策光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州宏策光电科技有限公司授权不得商用。

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