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本文中描述一种用于从经图案化的衬底的原始图像选择良好品质图像的方法。所述方法包括：获得经图案化的衬底的多个原始图像(例如SEM图像)；基于与所述多个原始图像中的每个图像内的一个或更多个特征的量规或轮廓相关联的数据来确定原始图像品质指标(例如...
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