下载用于在炉内支撑半导体晶片的晶片舟的技术资料

文档序号:37142744

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开一种用于在炉内支撑多个半导体晶片的晶片舟。所述晶片舟包含指状物集合,每一指状物具有接触突起,其接触且支撑半导体晶片。晶片。晶片。
...
该专利属于环球晶圆股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过环球晶圆股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。